CVD系列真空电阻式气相沉积炉

所属类别 : 特种炉型

产品编号 : T-002 

产品名称 : CVD系列真空电阻式气相沉积炉  

装料方式 : 立式

  • 产品详情

产品描述  化学气相沉积炉是用采用石墨加热,用石墨软毡、不锈钢框架组合隔热屏隔热的单室立、卧式真空炉?;喑粱饕糜谔疾牧系钠嘀旅芑?。

 

主要技术指标

型号

有效区尺寸 (mm)

装炉量 (kg)

加热功率 (kw)

最高温度 ()

温度均匀性 ()

极限真空度 (Pa)

压升率 (Pa/h)

气冷压强 (bar)

CVD251212

2500x1200x1200

1500

650

1500

5

10

0.05

/

CVD401515

4000x1500x1500

6000

650

1300

10

10

0.05

/

CVD181828

1800x1800x2800

800

810

1500

10

30

0.08

/

注:个别指标可以根据客户需求订制。

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